设备规格 Specifications

• 2x FOUP + 2x tape frame cassette连续作业，兼容天车系统

• 1 x 贴蓝膜模块 —— 一站式完成工艺，无需客户对薄晶圆贴膜

• 1-2 x 激光解键合模块

• 1 x 晶圆分离模块 —— 配置高精度力量传感器，保证器件片安全

• 1-3 x 薄晶圆清洗模块 —— 配置蓝膜保护环

• 根据配置不同， UPH 15-30