设备规格

• 兼容8-12英寸的全自动临时键合设备

• 4x FOUP 连续作业，兼容天车系统

• 2-3 x 涂胶模块，键合层及解键合层分腔涂布，可选专用去边模块

• 冷热板模块

• 1-3 x 晶圆真空键合模块

• 根据配置不同，UPH 8-20