设备规格

• 晶圆尺寸：12寸及以下兼容

• 兼容带蓝膜框晶圆清洗、蓝膜保护罩

• 支持三路清洗系统、清洗管路带加热功能

• 氮气吹干和DI水冲洗系统

• 室温-70℃温控

• 配置流量调节系统

• 适用于 2.5D、3D先进封装及硅基功率器件等